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        深圳路維光電股份有限公司

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          大尺寸光罩

          主要應用領域: 1.主要應用于LCD、TFT、CF、TouchPanel、OLED、PDP等平板顯示行業; 2.HDI、FPC等PCB行業。

          1. 詳細信息

          鉻版精度(StandardSize:430mmx430mm)

          精度/級別

          最高精度

          高精度

          中精度

          一般精度

          最小線寬/線縫

          0.75μm/0.75μm

          5μm/5μm

          10μm/10μm

          20μm/20μm

          線條精度

          ±0.15μm(QZ)

          ±0.5μm

          ±1.0μm

          ±2.0μm

          總長精度

          ±0.5μm(QZ)

          ±1.0μm

          ±2.0μm

          ±2.0μm

          圖形位置精度

          ±0.5μm(QZ)

          ±1.0μm

          ±2.0μm

          ±3.0μm

          套合精度

          ±0.5μm(QZ)

          ±1.0μm

          ±2.0μm

          ±3.0μm

          垂直精度

          ±0.75μrad

          ±2.0μrad

          ±3.0μrad

          ±4.0μrad

          鉻版材料 (Photomaskblankphate)

          材料

          SodaLimeGlassQuartz

          最大尺寸

          850mm*1400mm

          常規尺寸

          420mmx520mm,520mm*610mm,520mm*800mm,700mm*800mm,

          800mm*920mm,800mm*960mm,850mm*1200mm,850mm*1400mm

          厚度

          2.3±0.2mm,3.0±0.2mm,4.8±0.2mm,7.8±0.2mm,

          5.0±0.2mm(QZ),8.0±0.2mm(QZ),10.0±0.2mm(QZ)

          鉻膜

          LowReflectanceChrome

          光學密度(λ=450nm)

          BetweenPlates3.0±0.3InPlate±0.3

          反射率(λ=436nm)

          BetweenPlates10±5%InPlate±2%

           


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