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        深圳路維光電股份有限公司

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          中小尺寸光罩

          主要應用領域: 1.IC Bumping、IC載板、IC Lead Frame等相關行業; 2.LED(PSS)、MEMS、SENSOR和ENCODER等精細電子元器件行業。

          1. 詳細信息

          鉻版精度(Standard Size:6inch Quartz)

          精度/級別

          最高精度

          高精度

          中精度

          一般精度

          最小線寬/線縫

          0.75μm/0.75μm

          3μm/3μm

          5μm/5μm

          10μm/10μm

          線條精度

          ±0.1μm

          ±0.3μm

          ±0.5μm

          ±1.0μm

          總長精度

          ±0.25μm

          ±0.5μm

          ±0.75μm

          ±1.0μm

          圖形位置精度

          ±0.25μm

          ±0.5μm

          ±0.75μm

          ±1.0μm

          套合精度

          ±0.25μm

          ±0.5μm

          ±0.75μm

          ±1.0μm

          垂直精度

          ±0.5μrad

          ±0.75μrad

          ±1.0μrad

          ±2.0μrad

           

          鉻版材料 (Photomask blank phate)

          材料

          Soda Lime GlassQuartz

          常規尺寸

          3006,4009,5009,6012,6025,7012,9012,12"x12",14"x14"

          厚度

          1.5±0.2mm,2.3±0.2mm ,3.0±0.2mm ,4.8±0.2mm

          6.35±0.2mm (QZ)

          鉻膜

          Low Reflectance Chrome

          光學密度 (λ=450nm)

          Between Plates3.0±0.3 In Plate±0.3

          反射率 (λ=436nm)

          Between Plates10±5% In Plate±2%

           


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